در زمینه تولید مدرن با تکنولوژی پیشرفته، کاربید سیلیکون (SiC)، به عنوان یک ترکیب معدنی مهم، به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی منحصر به فرد خود، توجه بسیاری را به خود جلب کرده است. SiC دارای ویژگی های سختی بالا، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر دمای بالا، فرکانس بالا، فشار بالا و مصرف انرژی کم است و به طور گسترده در بسیاری از زمینه ها مانند میکروالکترونیک، هوا فضا، تجهیزات پزشکی و LED پرقدرت استفاده می شود. با این حال، برای استفاده کامل از پتانسیل مواد SiC، دقت و کارایی بالا دارد تجهیزات سنگ زنی کاربید سیلیکون ضروری است.
اصل کار تجهیزات آسیاب SiC عمدتاً شامل مراحلی مانند بارگیری ویفرها، سنگ زنی، پرداخت، تمیز کردن و خشک کردن و انتقال ویفر است. ویفر SiC مورد پردازش بر روی دستگاه گیره تجهیزات بارگذاری می شود تا اطمینان حاصل شود که ویفر موقعیت و وضعیت پایداری در طول پردازش دارد. با چرخاندن دیسک یا سر سنگ زنی، ورق آسیاب یا مایع آسیاب با سطح ویفر تماس پیدا می کند و از اصطکاک مکانیکی و خوردگی شیمیایی ذرات ساینده برای حذف قطعات نامنظم و لایه اکسید روی سطح استفاده می شود. ویفر
بر اساس آسیاب، سطح ویفر بیشتر جلا داده می شود تا خراش ها و حفره های ریز ایجاد شده در طول فرآیند آسیاب را از بین ببرد و سطح ویفر را صاف تر و صاف تر کند. پس از اتمام فرآیند پولیش، سطح ویفر با استفاده از یک واحد تمیز کننده تمیز و خشک می شود تا مایع سنگ زنی باقیمانده و آلاینده های ذرات حذف شود تا از تمیزی سطح ویفر اطمینان حاصل شود.
ویژگی های فنی تجهیزات سنگ زنی SiC عمدتاً در پردازش با دقت بالا، تولید با راندمان بالا و حفاظت از محیط زیست و صرفه جویی در انرژی منعکس می شود. با کاهش مداوم گرههای فرآیند مدار مجتمع، الزامات برای کیفیت سطح ویفر نیز بالاتر و بالاتر میرود و به تجهیزات آسیاب SiC نیاز دارد تا دقت و پایداری پردازش بالاتری داشته باشند. به منظور بهبود کارایی تولید و کاهش هزینه های تولید، تجهیزات آسیاب SiC نیاز به دستیابی به سرعت پردازش کارآمدتر و دسته های تولید بزرگتر دارند. با بهبود آگاهی زیست محیطی و تنش منابع انرژی، تجهیزات آسیاب SiC باید توجه بیشتری به حفاظت از محیط زیست و طراحی صرفه جویی در انرژی برای کاهش تولید زباله و مصرف انرژی داشته باشند.
تجهیزات آسیاب SiC طیف گسترده ای از کاربردها در زمینه تولید نیمه هادی ها، به ویژه در زمینه های با تکنولوژی بالا مانند تولید تراشه، قطعات نوری و تراشه های LED دارند. نقش حیاتی ایفا می کند. شکاف باند شفافیت بالا و ویژگیهای فیزیکی SiC، آن را به مادهای ایدهآل برای تولید الایدیهای پرقدرت، دیودهای لیزری، آشکارسازهای نوری، سلولهای خورشیدی و ضبطکنندههای UV تبدیل میکند.
با نفوذ سریع مواد SiC در وسایل نقلیه الکتریکی، کاربردهای صنعتی و ارتباطات 5G، انتظار میرود اندازه بازار دستگاههای قدرت SiC رشد قابل توجهی داشته باشد. به گفته Yole، یک شرکت مشاوره و تحقیقات نیمه هادی، تا سال 2028، اندازه بازار دستگاه های قدرت SiC به نزدیک به 9 میلیارد دلار خواهد رسید که کاربردهای خودروسازی و صنعتی ساختارهای اصلی برنامه پایین دستی هستند که به ترتیب 74 و 14 درصد را شامل می شوند. این روند باعث رشد مداوم تقاضا برای تجهیزات آسیاب SiC خواهد شد.